FESEM – Microscopio electrónico de barrido con litografía

16 de Agosto 2023

El microscopio marca FEI (actualmente Thermofisher) modelo Quanta FEG250 es un microscopio electrónico de barrido con cátodo de emisión de campo (FESEM) de alta resolución.

Éste tiene incorporado un detector de rayos X de energía dispersiva (EDS), SSD modelo Octane Pro, para obtener información de composición elemental de la superficie de la muestra. El FEI Quanta FEG250 es capaz de ofrecer información morfológica y de composición elemental de la superficie de la muestra con una mayor resolución y un mayor rango de energía que un SEM convencional.

El FEI Quanta FEG 250 está equipado con un cañon de emisión de campo Schottky y un detector Everhart-thornley para la detección de electrones secundarios, lo cual permite una resolución máxima de pocos nanómetros. Cuenta con tres modos de operación, alto vacío, bajo vacío y modo de vacío extendido, lo que permite analizar muestras húmedas y de baja conductividad eléctrica. El detector EDS es un Silicon Drift Detector (SDD), modelo Octane Pro de 10 mm2 de área de detección. Posee una Resolución de 130eV y estabilidad de resolución sobre 90% hasta las 200 kcps. Este equipo fue adquirido gracias al financiamiento de FONDEQUIP EQM150101.

MICROGRAFIAS ELECTRÓNICAS
• Electrones secundarios (SE)
• Alto Vacío, Bajo Vacío y Modo Ambiental (ESEM)
• Electrones Retrodispersados (BSE)
• Electrones Transmitidos (STEM)

ANÁLISIS DE COMPOSICIÓN ELEMENTAL
• Espectro Elemental de Rayos-X (EDS)
• Mapeo Elemental (Mapping EDS)

TARIFAS
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Puede ingresar una orden de trabajo en el siguiente formulario: Solicitud ODT

Para más información, cotizaciones u otras consultas, contactar a Álvaro Adrián al correo fesemcien@uc.cl o al teléfono (56-9) 5504 1441, horario de atención de lunes a viernes de 09:00 a 13:00 y de 14:00 a 18:00.